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一种新型MEMS器件中的近场辐射传热现象研究 MEMS 器件近场辐射传热 2014/4/22

以近场辐射传热方式利用光电器件中的热能制作热光电器件从而提高整个器件转换效率的思想已经被提出。本文基于该思想设计一种新型的具有双悬空薄膜的器件，两个薄膜面对面相互平行，间距为1 m。每个悬空薄膜中制作白金薄膜电阻。这个器件利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作。在存在近场辐射传热和不存在近场辐射传热两种情况下，通过测量将下方结构加热到相同温度的输入功率差，测量出两个薄膜间的辐射热功率。...